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中国计量科学研究院成功研制并建成了国内首套高精度圆度基准装置,此举标志着我国在精密圆度测量领域取得了重大进展,整体技术实力已达到国际前沿水平。

圆度作为几何量形位公差体系中的关键基础参数,其测量精度直接影响着精密主轴、高级光学元件以及半导体芯片等高端制造产品的性能和装配质量。过去,尽管中国在平面度等几何量计量基准方面已有基础,但对于圆度量值的国家级溯源却一直存在空白,这已成为制约高端装备自主可控和产业高质量发展的一个瓶颈。

这套新落成的圆度基准装置成功填补了这一技术空白,未来将为中国航空航天、高端机床、先进光学和半导体制造等战略性产业提供高质量、高精度的量值溯源支持。这不仅有助于完善国家几何量计量体系,也为建设制造强国和质量强国奠定了重要的技术基础。

在技术方面,该装置整合了多项自主研发的创新技术,有效攻克了高精度圆度评定、主轴误差分离以及滤波一致性控制等国际公认的技术难题。装置采用了一种创新的圆度计算模型,该模型基于高精度圆度滤波和全面的数据利用,成功解决了标准半球分离后轮廓重构的稳定性问题。此外,中国自主研发的新型误差分离技术显著降低了主轴回转误差的影响,将圆度测量的精度不确定度从过去的 20 纳米提升至 6 纳米,测量能力达到了国际领先水平。此次技术突破意味着中国已在多个高精度圆度测量核心关键技术上实现了自主可控,打破了长期以来被国外技术垄断的局面。

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